[发明专利]坩埚无效
| 申请号： | 201410255821.X | 申请日： | 2014-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN104109833A | 公开（公告）日： | 2014-10-22 |
| 发明（设计）人： | 张斌;刘凤 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 聂慧荃;郑特强 |
| 地址： | 201500 上海市金山区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种坩埚，包括第一本体和第二本体，第一本体包括筒形第一侧壁和连接于第一侧壁底端部的埚底；第二本体包括筒形第二侧壁，第二侧壁的上端部具有坩埚开口，下端部连接于第一侧壁上端部；第二本体的导热系数大于第一本体的导热系数。由于给坩埚加热的加热部件通常设于第一本体，故当热量由第一本体传导至第二本体处过程中，由于第二本体的导热系数相对较大，故可降低热量损耗，使得第二本体的坩埚开口处的温度相对较高，从而可减少甚至避免蒸镀材料在坩埚开口处凝结而减少封口现象；第二本体的坩埚开口处与第一本体的坩埚埚底处的温差较小，从而使坩埚内的材料受热均匀，因此减少了由此引发的爆冲现象。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 | ||
【主权项】：
一种坩埚，其特征在于，包括： 第一本体，包括筒形第一侧壁和连接于所述第一侧壁底端部的埚底；以及 第二本体，包括筒形第二侧壁，所述第二侧壁的上端部具有坩埚开口，下端部连接于所述第一侧壁上端部； 其中，所述第二本体的导热系数大于所述第一本体的导热系数。
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