[发明专利]一种收集装置有效
申请号: | 201410256493.5 | 申请日: | 2014-06-10 |
公开(公告)号: | CN104018122A | 公开(公告)日: | 2014-09-03 |
发明(设计)人: | 肖昂 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人: | 申健 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明的实施例提供一种收集装置,涉及有机发光二极管面板制造领域,解决了给基板蒸镀发光材料时,出现材料蒸镀到蒸镀腔室上和蒸镀到基板上的材料厚度不均一的问题,减少了材料的浪费,降低了生产成本,提高了产品的稳定性和生产效率。该装置包括:收集板,其中:收集板包括:一非水平设置的第一面板、一水平设置的第二面板和一非水平设置的第三面板;第一面板的上面的边与第二面板的第一边连接,第二面板的第二边与第三面板的上面的边连接;第一面板与第三面板不接触;收集板用于当线性蒸发源处于预蒸发阶段和两个基板切换的空白阶段时,阻挡线性蒸发源蒸发出的蒸镀材料喷射到蒸镀腔室上。本发明应用于发光二极管面板制造中。 | ||
搜索关键词: | 一种 收集 装置 | ||
【主权项】:
一种收集装置,其特征在于,所述收集装置包括:收集板,其中:所述收集板包括:一非水平设置的第一面板、一水平设置的第二面板和一非水平设置的第三面板;所述第一面板的上面的边与所述第二面板的第一边连接,所述第二面板的第二边与所述第三面板的上面的边连接;所述第一面板与所述第三面板不接触;所述收集板,用于当线性蒸发源处于预蒸发阶段和两个基板切换的空白阶段时,阻挡所述线性蒸发源蒸发出的蒸镀材料喷射到蒸镀腔室上。
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