[发明专利]一种电热管气相沉积方法有效
| 申请号： | 201410256544.4 | 申请日： | 2014-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN104071987A | 公开（公告）日： | 2014-10-01 |
| 发明（设计）人： | 施吉承;卫正强 | 申请（专利权）人： | 长兴宏能电热膜元件厂 |
| 主分类号： | C03C17/00 | 分类号： | C03C17/00 |
| 代理公司： | 杭州华鼎知识产权代理事务所(普通合伙) 33217 | 代理人： | 秦晓刚 |
| 地址： | 313100 浙江省湖州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电热管气相沉积方法，首先，将高温炉的加热腔的温度加热至700℃～900℃，将石英玻璃管分别套接于固定杆上，并在固定杆头端套接耐热橡胶帽防止石英玻璃管从固定杆上滑出；其次，推动电机将转筒推入高温炉的加热腔内，启动电机使石英玻璃管绕转筒轴心旋转，之后开启高压喷枪的开关和高压气泵开关，然后启动控制曲柄滑块机构的电动机，加热时间为15min；最后，加热完成后，依次关闭高压喷枪开关、控制曲柄滑块机构的电动机以及电机，拉动电机将转筒拉入高温炉，取下石英玻璃管转移至冷却工位。本发明使石英玻璃管表面的电热膜溶液气相沉积生产效率更高，成本更低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 热管 沉积 方法 | ||
【主权项】：
一种电热管气相沉积方法，其特征在于：首先，将高温炉(1)的加热腔的温度加热至700℃～900℃，将石英玻璃管分别套接于固定杆(201b)上，并在固定杆头端套接耐热橡胶帽防止石英玻璃管从固定杆上滑出；其次，推动电机(203)将转筒(201)推入高温炉(1)的加热腔内，启动电机使石英玻璃管绕转筒轴心旋转，之后开启高压喷枪(4)的开关和高压气泵(6)开关，然后启动控制曲柄滑块机构(3)的电动机，加热时间为15min；最后，加热完成后，依次关闭高压喷枪开关、控制曲柄滑块机构的电动机以及电机(203)，拉动电机将转筒拉入高温炉，取下石英玻璃管转移至冷却工位。
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