[发明专利]激光退火装置及利用该装置的显示设备制造方法有效
| 申请号： | 201410257667.X | 申请日： | 2014-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN104858546B | 公开（公告）日： | 2018-09-25 |
| 发明（设计）人： | 秋秉权;安尚薰;郑炳昊;赵珠完 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/064 | 分类号： | B23K26/064;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 张波 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供一种激光退火装置及利用该装置的显示设备制造方法，该激光退火装置包括：主激光束发射部，其能够发射主激光束；激光束分束部，其能够将从所述主激光束发射部发射的主激光束分束成多束子主激光束；多个相位调制器，其分别位于被所述激光束分束部分束的多束子主激光束各自的光路上，能够调制通过的激光束的相位；激光束合束部，其将分别通过了多个所述相位调制器的激光束合并。本发明的激光退火装置能够发射均匀的激光束，从而能够实现高质量的非晶硅层退火。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 退火 装置 利用 显示 设备 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种激光退火装置，其特征在于，包括：主激光束发射部，其能够发射主激光束；激光束分束部，其能够将从所述主激光束发射部发射的主激光束分束成多束子主激光束；多个相位调制器，分别位于被所述激光束分束部分束的多束子主激光束各自的光路上，能够调制通过的激光束的相位；激光束合束部，其将分别通过了所述多个相位调制器的激光束合并。
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