[发明专利]绘画装置和制造物品的方法

摘要

本发明涉及一种绘画装置和制造物品的方法。所述绘画装置用于利用带电粒子束在基板上执行绘画，包括控制器，被配置为基于所述带电粒子束在所述基板上的多个位置中的每一个相对于与所述多个位置中的每一个相对应的目标位置的位移的信息、以及与所述多个位置中的每一个相对应的目标位置处的所述带电粒子束的目标剂量，来控制所述多个位置中的每一个处的所述带电粒子束的剂量。

主权项

一种用于利用带电粒子束在基板上执行绘画的绘画装置，所述装置包括：投射系统，所述投射系统被配置为将所述带电粒子束投射到基板上；以及控制器，所述控制器被配置为基于所述带电粒子束在基板上的多个位置中的每一个相对于与所述多个位置中的每一个相对应的目标位置的位移的信息、以及与所述多个位置中的每一个相对应的目标位置处的带电粒子束的目标剂量，来控制所述多个位置中的每一个处的带电粒子束的剂量，所述控制器被配置为根据与所述多个位置中的一个位置相对应的目标位置处的带电粒子束的目标剂量对所述多个位置中的一个位置处的带电粒子束的剂量进行插值，并且其中，所述插值通过对与所述多个位置中的一个位置相邻的目标位置处的带电粒子束的剂量进行分割来确定所述多个位置中的一个位置处的带电粒子束的剂量，并且其中，基于所述多个位置中的一个位置和目标位置之间的距离通过对所述多个位置中的所述一个位置的目标位置处的目标剂量进行分割，来确定所述多个位置中的所述一个位置处的带电粒子束的剂量，其中所述多个位置中的一个位置和目标位置之间的距离作为所述信息。