[发明专利]双重图案化布局设计方法有效
| 申请号： | 201410286292.X | 申请日： | 2014-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN104239596B | 公开（公告）日： | 2019-06-14 |
| 发明（设计）人： | 宋泰中;朴在浩;郑光钰 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 陈源;张帆 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了一种双重图案化布局设计方法，该方法包括步骤：在原理电路上定义关键路径，所述关键路径包括第一路径和第二路径；以及定义双重图案化布局，所述双重图案化布局被划分成具有第一颜色的第一掩模布局和具有第二颜色的第二掩模布局，所述双重图案化布局与所述原理电路相对应。定义所述双重图案化布局的步骤包括在所述原理电路上锚定所述关键路径。 | ||
| 搜索关键词： | 双重 图案 布局 设计 方法 | ||
【主权项】：
1.一种双重图案化布局设计方法，包括步骤：在原理电路上定义关键路径，所述关键路径包括第一路径和第二路径；以及定义双重图案化布局，所述双重图案化布局被划分成具有第一颜色的第一掩模布局和具有第二颜色的第二掩模布局，所述双重图案化布局与所述原理电路相对应，其中，定义所述双重图案化布局的步骤包括在所述原理电路上锚定所述关键路径，其中，在所述原理电路上锚定所述关键路径包括：为与所述第一路径相对应的第一多边形应用多个颜色，为与所述第二路径相对应的第二多边形应用所述多个颜色，并且使所述第一多边形和所述第二多边形的色比匹配。
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