[发明专利]软磁性靶材在审
| 申请号： | 201410287333.7 | 申请日： | 2007-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN104032276A | 公开（公告）日： | 2014-09-10 |
| 发明（设计）人： | 柳谷彰彦;相川芳和 | 申请（专利权）人： | 山阳特殊制钢株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/14;H01F41/18 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 蒋亭 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种不使磁特性劣化，并使耐气候性提高的软磁性靶材。第一方式的软磁性靶材，由Fe:Co的原子比为100:0～20:80的Fe－Co系合金构成，所述合金还含有0.2～5原子％的Al或Cr的1种或2种。另外，本发明的第二方式的软磁性靶材，由Fe:Ni的原子比为100:0～20:80的Fe－Ni系合金构成，所述合金还含有0.2～5原子％的Al或Cr的1种或2种。在第一及第二方式的软磁性靶材中，上述合金能够含有30原子％以下的从B、Nb、Zr、Ta、Hf、Ti及V所构成的群中选择的1种或2种以上。 | ||
| 搜索关键词： | 磁性 | ||
【主权项】：
一种软磁性靶材，是由Fe‑Co系合金构成的软磁性靶材，其用于形成软磁性非晶薄膜，在所述靶材中，含有30原子％以下的从B、Nb、Zr、Ta、Hf、Ti以及V所构成的群中选择的1种或2种以上，并含有0.2～5原子％的Al或Cr中的1种或2种。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山阳特殊制钢株式会社，未经山阳特殊制钢株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410287333.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
