[发明专利]物品保管设备的检查装置有效
| 申请号： | 201410287642.4 | 申请日： | 2014-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN104249898B | 公开（公告）日： | 2017-09-26 |
| 发明（设计）人： | 大塚洋;河村真辅;吉本忠浩 | 申请（专利权）人： | 株式会社大福 |
| 主分类号： | B65G1/04 | 分类号： | B65G1/04;H01L21/677;H01L21/683;H01L21/67 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 冯春时,李婷 |
| 地址： | 日本大阪*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供物品保管设备的检查装置，能高精度地测定向运送容器供给的惰性气体的流量。包括惰性气体供给部的物品保管设备所使用的检查装置，包括由于被载置支撑部支撑的检查装置的自重而与供给喷嘴接合的检查用给气口，被载置支撑部支撑的状态下的沿着水平面的方向的重心位置与运送容器被载置支撑部支撑的状态下的运送容器的沿着水平面的方向的重心位置一致，检查被载置支撑部支撑的状态下的惰性气体的供给状态，其中，惰性气体供给部具有供给喷嘴，供给喷嘴是配设在对运送容器进行载置支撑的载置支撑部的喷嘴，喷嘴由于被载置支撑部支撑的运送容器的自重而与给气口接合，向运送容器的内部注入惰性气体，运送容器在底部形成惰性气体的给气口并在密闭状态下容纳基板。 | ||
| 搜索关键词： | 物品 保管 设备 检查 装置 | ||
【主权项】：
一种物品保管设备的检查装置，所述物品保管设备包括：多个收纳部，具有对运送容器进行载置支撑的载置支撑部，能将所述运送容器在被所述载置支撑部支撑的状态下收纳，所述运送容器在底部形成有惰性气体的给气口并在密闭状态下容纳预先规定的片数以内的基板；惰性气体供给部，具有供给喷嘴，所述供给喷嘴是配设在所述载置支撑部的喷嘴，所述喷嘴由于被所述载置支撑部支撑的所述运送容器的自重而与所述给气口接合，向该运送容器的内部注入所述惰性气体，所述物品保管设备的检查装置的特征在于，所述物品保管设备的检查装置是在被所述载置支撑部支撑的状态下检查由所述惰性气体供给部进行的所述惰性气体的供给状态的装置，包括由于被所述载置支撑部支撑的所述检查装置的自重而与所述供给喷嘴接合的检查用给气口，在被所述载置支撑部支撑的状态下的所述检查装置的沿着水平面的方向的重心位置与所述运送容器被所述载置支撑部支撑的状态下的所述运送容器的沿着水平面的方向的重心位置一致。
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