[发明专利]利用测试数据进行品管方法在审

专利信息
申请号: 201410288603.6 申请日: 2014-06-25
公开(公告)号: CN104778525A 公开(公告)日: 2015-07-15
发明(设计)人: 陈坤忠 申请(专利权)人: 讯利电业股份有限公司;陈坤忠
主分类号: G06Q10/06 分类号: G06Q10/06;G06F17/50
代理公司: 上海宏威知识产权代理有限公司 31250 代理人: 袁辉
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 发明公开一种利用测试数据进行品管方法,是晶圆被分为多个被测元件,各被测元件经晶圆测试电气特性及效能时,以一收集单元在晶圆进行晶圆测试后收集晶圆的批号、晶圆的型号、被测元件在晶圆上的坐标、被测元件号以及被测元件测试的参数与测试结果的数据,并送往一测试数据分析站进行分析,以此数据制作各种收集资料的常态分布图,计算出差异数与标准差,作为品质管制监控手段或测试程式稳定度分析,由此构成本发明。
搜索关键词: 利用 测试数据 进行 品管 方法
【主权项】:
一种利用测试数据进行品管方法,其特征在于:晶圆被分为多个被测元件,各所述被测元件经晶圆测试电气特性及效能时,以一收集单元在所述晶圆进行晶圆测试后收集所述晶圆的批号、所述晶圆的型号、所述被测元件在晶圆上的坐标、所述被测元件号以及所述被测元件测试的参数与测试结果的数据,并送往一测试数据分析站进行分析,以所述数据制作各种收集资料的常态分布图,计算出差异数与标准差,作为品质管制监控手段或测试程式稳定度分析。
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