[发明专利]一种膜层去除装置

摘要

本发明涉及膜厚测试技术领域，公开一种膜层去除装置，包括：底座；安装于底座的载台，载台承载面的第一侧边和第二侧边相对，且沿第一侧边朝向第二侧边的方向，承载面与底座之间的距离增大；安装于载台、且位于载台背离底座的一侧的第一挡板；第一挡板具有：密封面，当承载面上放置有待处理基板时，密封面与待处理基板背离载台的一面密封配合；缺槽，当承载面上放置有待处理基板时，缺槽的各个侧壁与待处理基板背离载台的一面配合形成开口朝向承载面的第一侧边的汇流槽；缺槽的内壁中具有朝向第一侧边的挡面；第一挡板内部形成多个导液孔。该膜层去除装置可以使膜层部分去除后有明显的边界，从而提高膜层厚度测试的准确性。

主权项

一种膜层去除装置，其特征在于，包括：底座；载台，所述载台背离所述底座的一面为承载面；所述载台安装于所述底座，所述承载面的第一侧边和第二侧边相对且平行，所述第一侧边与所述底座朝向所述载台的侧面平行，且沿所述第一侧边朝向第二侧边的方向，所述承载面与所述底座之间的距离增大；第一挡板，所述第一挡板安装于所述载台、且位于所述载台背离所述底座的一侧；所述第一挡板具有：密封面，当所述承载面上放置有待处理基板时，所述密封面与待处理基板背离载台的一面密封配合；缺槽，当承载面上放置有待处理基板时，所述缺槽的各个侧壁与待处理基板背离载台的一面配合形成开口朝向所述承载面的第一侧边的汇流槽；所述缺槽的内壁中具有朝向所述第一侧边的挡面，所述挡面与所述密封面相连、且形成所述汇流槽的底面；所述第一挡板内部形成多个导液孔，每一个所述导液孔的一端开口位于所述第一挡板背离所述载台的侧面上，另一端开口位于所述缺槽的内壁。