[发明专利]承载装置以及离子注入设备

摘要

本发明提供一种承载装置以及离子注入设备，其中，本发明的承载装置包括用于承托玻璃基板的承托板以及设置于承托板上的用于测量玻璃基板温度的温度传感器。本发明的离子注入设备，包括本发明的承载装置。本发明的技术方案可以解决离子浓度较高以及长时间的注入导致被注入基板温度持续升高，由此出现缺陷和不良的技术问题。本发明的承载装置还可以增加一种离子注入设备的浓度监控手段，提升注入设备的整体性能。

主权项

一种承载装置，其特征在于，包括用于承托玻璃基板的承托板以及设置于所述承托板上的用于测量所述玻璃基板温度的温度传感器，承托板的背面设置有连接杆，所述连接杆与支承杆可相对旋转的铰接在一起，所述支承杆用于支承所述承托板，所述连接杆与所述支承杆的铰接处设置有用于测量所述连接杆与所述支承杆之间角度的量角器；还包括与所述温度传感器连接的控制器以及用于冷却所述玻璃基板的冷却系统，所述冷却系统与所述控制器连接，所述控制器根据所述温度传感器的信号控制所述冷却系统的工作；所述冷却系统包括设置于所述承托板的承托面上的冷却管路。