[发明专利]胶头和胶管一体化运动结构有效
| 申请号： | 201410294868.7 | 申请日： | 2014-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN105319855B | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 王阳;胡延兵 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 21002 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人： | 何丽英 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体生产中的设备，具体地说是一种胶头和胶管一体化运动结构。所述结构设置于涂胶单元内部，包括执行机构、胶管、胶头及托架结构，其中执行机构设置于胶杯的一侧，所述托架结构滑动连接于执行机构上，所述托架结构上沿运动方向依次布设有多个胶管，所述托架结构上还设有多个与各胶管相对应的胶头，各胶管的一端与托架结构连接，另一端与其相对应的胶头连接，所述胶管托架带动胶管和胶头一起沿平行于胶管排列方向移动。本发明实现多个胶头更换，防止胶管互相干涉，提高设备稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 胶管 一体化 运动 结构 | ||
【主权项】：
1.一种胶头和胶管一体化运动结构，其特征在于：所述结构设置于涂胶单元内部，包括执行机构(3)、胶管(4)、胶头(5)及托架结构，其中执行机构(3)设置于胶杯(7)的一侧，所述托架结构连接于执行机构(3)上、并通过执行机构(3)的驱动作直线运动，所述托架结构上沿运动方向依次布设有多个胶管(4)；/n所述托架结构包括胶管托架(1)、总体托架(2)及胶头托架(6)，其中总体托架(2)连接于执行机构(3)上，所述胶管托架(1)和胶头托架(6)设置于总体托架(2)上；/n所述胶头托架(6)上设有多个与各胶管(4)相对应的胶头(5)，各胶管(4)的一端与所述胶管托架(1)连接，另一端与其相对应的胶头(5)连接，所述托架结构通过执行机构(3)的驱动，带动胶管(4)和胶头(5)一起沿平行于胶管(4)排列方向移动；/n在需要不同的光刻胶进行匀胶工作时，所需要的胶头(5)和胶管(4)在执行机构(3)的带动下运动到二者连线通过胶杯(7)圆心的位置。/n
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