[发明专利]物件检测方法及装置有效
| 申请号： | 201410304801.7 | 申请日： | 2014-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN104897680B | 公开（公告）日： | 2017-09-05 |
| 发明（设计）人： | 陈国庆;王国伦;林启丰 | 申请（专利权）人： | 万润科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人： | 徐伟 |
| 地址： | 中国台湾高雄*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明系一种物件检测方法及装置，包括以一第一光源投射检测物表面，使其反射受一第一检测装置撷取检测物表面影像；另以一第二光源向光栅投射光源，使光栅上的网格经一第二分光镜折射至检测物表面，再使其反射经一第一分光镜折射受一第二检测装置撷取检测物表面具网格的影像；藉以不仅可以第一检测装置观测检测物表面影像，亦可同时以第二检测装置作强化表面瑕疵特征的凹痕、裂痕检查。 | ||
| 搜索关键词： | 物件 检测 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种物件检测方法，包括：提供一第一检测单元及一第二检测单元，使其以不同焦距共同经由一第一分光镜分别撷取检测物表面影像；提供一具网格的光栅，位于一第二分光镜一侧；其特征在于：该第一检测单元及一第二检测单元各经由一第一检测光路、一第二检测光路分别撷取检测物表面影像；该第一检测光路由位于第二分光镜与检测物表面间的一第一光源直接投射检测物表面而形成，该第二检测光路由一第二光源先投射该具网格的光栅再经第二分光镜折射于检测物表面形成；该第一检测光路与第二检测光路二者可经切换而由第一检测单元经由第一检测光路撷取无网格影像，或由第二检测单元经由第二检测光路撷取具网格影像。
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