[发明专利]实时监控淀积设备的换向阀门的工作状态的方法

摘要

本发明提供一种实时监控淀积设备的换向阀门的工作状态的方法，包括步骤：在淀积工艺的步骤之前将淀积设备的工艺腔体内的压力抽至底压，并将其节流阀完全关闭；预流大流量的氦气并通过换向阀门直接绕开工艺腔体，氦气直接被泵抽走；淀积设备的压力检测系统检测工艺腔体内的压力；若压力相比于底压有急剧上升的情形，则认定换向阀门存在问题，否则认定换向阀门状态正常。本发明的方法能够整合进入整个工艺菜单之中，在每一次淀积工艺的执行之前都可以检测一遍，从而实现实时监控换向阀门的工作状态，并且在该换向阀门发生问题时能及时发现，提高了工艺的稳定性，减少了由此造成的良率损失。

主权项

一种实时监控淀积设备的换向阀门的工作状态的方法，包括步骤：在淀积工艺的步骤之前将所述淀积设备的工艺腔体内的压力抽至底压，并将其节流阀完全关闭；预流大流量的氦气并通过所述换向阀门直接绕开所述工艺腔体，所述氦气直接被泵抽走；所述淀积设备的压力检测系统检测所述工艺腔体内的压力；若所述压力相比于所述底压有急剧上升的情形，则认定所述换向阀门存在问题，否则认定所述换向阀门状态正常；其中，所述底压是指所述工艺腔体内的压力范围为0～30毫托；所述大流量的氦气是指所述氦气的流量在3000sccm以上；所述急剧上升的情形是指在所述压力的检测时间内，所述压力从所述底压上升至数百毫托。