[发明专利]一种有机发光薄膜封装结构，其器件、装置及制造方法

摘要

本发明提供了一种有机发光薄膜封装结构，包含有机发光单元，以及覆盖有机发光单元的薄膜结构，薄膜结构包括位于下层的第一膜层、位于上层的第二膜层，以及位于中间的过渡层，第一膜层为SiX或SiXY，第二膜层为SiY或SiXY，过渡层的材料为多层SiXnYm，其中，第一膜层和第二膜层不为同种材料；其中，过渡层中一相邻两层SiXnYm的X或Y原子比的差值大于第一膜层或第二膜层与相邻过渡层的X或Y原子比差值，其中，m和n的取值为0～1，包含0和1的端值；其中，X为O、C或N，Y为O、C或N，X和Y为不同原子。采用本发明的方案，可对膜层应力改善的条件下，同时可以较好的保证膜层的综合性能。

主权项

一种有机发光薄膜封装结构，其特征在于：包含有机发光单元，以及覆盖所述有机发光单元的薄膜结构，所述薄膜结构包括位于下层的第一膜层、位于上层的第二膜层，以及位于中间的过渡层，所述第一膜层为SiX或SiXY，所述第二膜层为SiY或SiXY，所述过渡层的材料为多层SiXnYm，其中，所述第一膜层和第二膜层不为同种材料；其中，所述过渡层中一相邻两层SiXnYm的X或Y原子比的差值大于所述第一膜层或第二膜层与相邻过渡层的X或Y原子比差值，其中，所述m和n的取值为0～1，包含0和1的端值；其中，所述X为O、C或N，所述Y为O、C或N，所述X和Y为不同原子。