[发明专利]一种机械手臂位置调整的辅助装置

摘要

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种机械手臂位置调整的辅助装置，通过在晶圆盒上临近晶圆槽的内壁上设置位置感测器以检测晶圆是否被置放在预设区域处，并在晶圆盒后方设置与晶圆槽在水平方向上对应的槽位标记。在调整机械手臂的过程中，一旦该位置检测器的检测信号发射装置发射的信号被晶圆挡住，此时，位置检测器的检测信号接收装置因无法接收到信号而触发警示灯亮起，以给予工程师明确的指示，并进行相应的位置调整。在提高工作效率的同时，也进一步提高了工作质量，避免了机械手臂与FOUP或晶圆间的碰撞导致晶圆损伤现象的发生，且该装置成本较低，具有很强的实用性。

主权项

一种机械手臂位置调整的辅助装置，其特征在于，包括：一晶圆盒，所述晶圆盒的侧壁内表面上设置有用于放置晶圆的若干晶圆槽；位置检测器，临近所述晶圆槽设置于所述晶圆盒的内壁上，以检测所述晶圆是否置放在预设区域处；报警装置，与所述位置检测器电连接；其中，当所述位置检测器检测到放置于晶圆槽上的晶圆没有置放在所述预设区域时，触发所述报警装置发出报警信号；所述晶圆盒的外壁上还设置有若干槽位标记，所述每个槽位标记均与一个所述晶圆槽处于同一水平面上。