[发明专利]厚度测量方法

摘要

本发明提出了使用满足预定条件的两个波长来测量厚度的厚度测量装置和厚度测量方法。所述厚度测量方法包括以下步骤：将第一波长λ₁的第一激光束照射至透明基板且测量透过所述透明基板的第一激光束的强度；将第二波长λ₂的第二激光束照射至所述透明基板且测量透过所述透明基板的第二激光束的强度；并且使用透过所述透明基板的第一激光束和第二激光束来提取利萨如图形上的旋转角。将所述第一激光束的经过多次内反射的相邻光线之间的相位差以及所述第二激光束的经过多次内反射的相邻光线之间的相位差保持在π/2。所述厚度测量装置包括第一激光器、第二激光器、光耦合器、光检测器和处理单元。

主权项

1.一种厚度测量方法，其包括以下步骤：测量透过透明基板的第一位置的第一波长的第一透过光束的强度；在精细度系数小于1的条件下使用泰勒级数展开式展开艾里函数，以将作为艾里函数而被给出的透过所述透明基板的所述第一波长的所述第一透过光束显示为如下相位差的余弦函数：该相位差是由通过所述透明基板的多次内反射而透过的相邻光线之间的光程长度而导致的；选择第二波长以将所述余弦函数变换成正弦函数；测量透过所述透明基板的所述第一位置的具有第二波长的第二透过光束的强度；处理所述第一透过光束的强度和所述第二透过光束的强度以提取利萨如图形上的旋转角；并且使用所述旋转角计算所述透明基板的厚度。