[发明专利]电子装置及制造方法、物理量传感器、电子设备及移动体有效
| 申请号： | 201410326076.3 | 申请日： | 2014-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN104280051B | 公开（公告）日： | 2018-09-25 |
| 发明（设计）人： | 田中悟 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01D3/036 | 分类号： | G01D3/036;G01P15/125 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 黄威;苏萌萌 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种因所使用的环境的温度变化所造成的检测特性的变动被抑制的、检测特性更为稳定的电子装置及制造方法、物理量传感器、电子设备及移动体。物理量传感器(1)具备第一传感器元件(99)和被配置在第一传感器元件(99)的外周的至少一部分上的外缘部(90)，在俯视观察外缘部(90)时，在外缘部(90)上设置有在第一方向上延伸的第一槽(92)。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 装置 制造 方法 物理量 传感器 电子设备 移动 | ||
【主权项】：
1.一种电子装置，其特征在于，具备：第一功能元件；外缘部，其被配置在所述第一功能元件的外周的至少一部分上，在俯视观察所述外缘部时，在所述外缘部上以大致等间隔的方式设置有多个在第一方向上延伸的第一槽，所述外缘部被设为固定电位，所述第一功能元件和所述外缘部为同一材料。
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