[发明专利]一种超洁净真空部件包装储存方法有效
| 申请号： | 201410332451.5 | 申请日： | 2014-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN104139893A | 公开（公告）日： | 2014-11-12 |
| 发明（设计）人： | 张晓兵;肖梅;康学军;夏柱红;祁争健;陈振乾 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | B65B55/24 | 分类号： | B65B55/24;B65B31/04 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 杨晓玲 |
| 地址： | 211189 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超洁净真空部件包装储存方法，对超洁净真空系统内部的真空部件在清洗后，采用金属转移工具进行空间转移，采用金属盒盒体作为真空部件储存的容器，戴手套用金属箔隔离情况取出和安装真空部件减少超洁净真空部件在清洗、包装、储存和运输过程中接触有机污染物，避免有机污染物对超洁净真空的污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 洁净 真空 部件 包装 储存 方法 | ||
【主权项】：
一种超洁净真空部件包装储存方法，其特征在于，对超洁净真空系统内部的真空部件(1)在清洗后，采用金属转移工具(2)进行空间转移，采用金属盒盒体(4)作为真空部件(1)储存的容器，戴手套用金属箔(3)隔离情况取出和安装真空部件(1)。
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