[发明专利]一种压阻传感元件及其制备方法有效
| 申请号： | 201410338897.9 | 申请日： | 2014-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN104089570A | 公开（公告）日： | 2014-10-08 |
| 发明（设计）人： | 汪爱英;郭鹏;李润伟;张栋;杨华礼;柯培玲 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | G01B7/16 | 分类号： | G01B7/16;C23C28/00 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 单英 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种压阻传感元件。该压阻传感元件以类金刚石碳膜为压阻材料，由衬底、位于衬底表面的类金刚石碳膜，以及位于类金刚石碳膜表面金属电极组成。与现有的压阻传感元件相比，该元件具有高灵敏度系数GF值，同时由于非晶碳的各向同性，其在各个方向的灵敏度相同，并且可通过改变工艺参数对GF值进行调控；另外，该元件可在强酸碱环境、摩擦接触服役等特殊环境及工况下工作，因此具有良好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 传感 元件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种压阻传感元件，其特征是：由衬底、类金刚石碳膜、金属电极组成，类金刚石碳膜位于衬底表面，金属电极位于类金刚石碳膜表面。
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