[发明专利]MEMS麦克风及其形成方法

摘要

一种MEMS麦克风及其形成方法，其中MEMS麦克风包括：第一晶圆，形成有导电极板；位于导电极板周围的第一支撑部、横亘在第一支撑部上的第一膜片，导电极板与第一膜片、第一支撑部具有间隙，第一支撑部导电；位于第一膜片上的至少一层第二膜片，第一膜片和所有第二膜片中的相邻两膜片之间具有第二支撑部，第二支撑部导电；位于每个第二膜片中的若干第一通孔；第二晶圆，在第二晶圆背面形成有凹槽，凹槽侧壁对应第二区的位置，凹槽对应第一区的位置，凹槽底面形成有若干声孔；在第二区位置，凹槽侧壁与第一晶圆的正面键合在一起，凹槽底面与顶层第二膜片之间具有间隙。第一通孔能分流声音，使第一膜片和第二膜片受到的损伤降低。

主权项

1.一种MEMS麦克风的形成方法，其特征在于，包括：提供第一晶圆，所述第一晶圆的正面具有第一区和第二区，所述第二区环绕第一区，在所述第一区形成有导电极板；在所述第一区形成覆盖、且包围导电极板的第一牺牲层；在所述第一区形成位于第一牺牲层侧壁的第一支撑部、位于所述第一支撑部和第一牺牲层上的第一膜片，所述第一支撑部导电；在垂直于第一晶圆正面方向上，在所述第一膜片上对应第一牺牲层的位置形成至少一层第二牺牲层；在形成每层第二牺牲层后，形成位于该层第二牺牲层侧壁的第二支撑部、位于所述第二支撑部和第二牺牲层上的第二膜片，在每层所述第二膜片中形成若干相互隔开的第一通孔，所述第一通孔露出第二牺牲层，所述第二支撑部对应第一支撑部的位置，所述第二支撑部导电；在形成所有第二牺牲层、第二膜片和第一通孔后，去除第一牺牲层和所有第二牺牲层；提供第二晶圆，在所述第二晶圆背面形成有凹槽，所述凹槽的侧壁对应第二区的位置，所述凹槽对应第一区的位置，在所述凹槽的底面形成有若干相互隔开的声孔，所述声孔贯通第二晶圆正面；在所述第二区位置，将所述凹槽的侧壁与第一晶圆正面键合在一起，所述凹槽底面与顶层第二膜片之间具有间隙。