[发明专利]一种柔性基板、柔性显示器及其制作方法在审
| 申请号： | 201410343417.8 | 申请日： | 2014-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN105321875A | 公开（公告）日： | 2016-02-10 |
| 发明（设计）人： | 高卓 | 申请（专利权）人： | TCL集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/77 | 分类号： | H01L21/77;H01L27/12;H01L27/32 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人： | 王永文;刘文求 |
| 地址： | 516006 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种柔性基板、柔性显示器及其制作方法，其中，柔性基板制作方法包括步骤：将网状的玻璃纤维分散在载体基板的PI溶液表面，其中玻璃纤维渗透进PI溶液，形成PI和玻璃纤维的复合结构；对载体基板进行加热，然后降温至室温，使载体基板上的有机物交联固化形成包含玻璃纤维的PI薄膜；在载体基板的PI薄膜上沉积有具有水氧阻隔作用的无机材料，形成嵌入玻璃纤维里面的无机膜。本发明利用网状的玻璃纤维结构增强了基板的柔韧性，降低了材料的热膨胀系数，减小了成膜应力，并且玻璃纤维本身具有很好的阻隔作用，采用玻璃纤维嵌入无机阻隔材料的方式制作复合阻隔层，集合了玻璃纤维的柔韧性和无机膜阻隔性的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 显示器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种柔性基板制作方法，其特征在于，包括步骤：A、在载体基板上涂覆PI溶液；B、将网状玻璃纤维分散在载体基板的PI溶液表面，其中网状玻璃纤维的一部分渗透进PI溶液，网状玻璃纤维的另一部分露出PI溶液表面，形成PI和网状玻璃纤维的复合结构；C、对载体基板进行加热，然后降温至室温，使载体基板上的有机物交联固化形成包含网状玻璃纤维的PI薄膜；D、在载体基板的PI薄膜上沉积有具有水氧阻隔作用的无机材料，形成分散镶嵌在网状玻璃纤维的网状结构中间的无机膜；E、在载体基板上的无机膜和网状玻璃纤维表面制作一层有机材料形成平坦层制得柔性基板。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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