[发明专利]不良检查系统及其方法

摘要

本发明公开一种能够降低费用的不良检查系统及其方法。所述不良检查方法包括：第一不良检查步骤，其在向第一方向移送第一基板的同时检查所述第一基板的一部分；以及第二不良检查步骤，其在向第二方向移送所述第一基板的同时检查所述第一基板的其他部分。其中所述第一方向与所述第二方向不同。本发明的不良检查系统及其方法可利用两个摄像头检查向第一方向移送的第一基板的边缘中的一部分，并利用两个摄像头检查向第二方向移送的第一基板的其他边缘。即，所述不良检查系统用四个摄像头即可检查基板上的所有边缘的不良，设置的摄像头数量比现有的不良检查系统少。因此能够大幅降低上述不良检查系统的费用。

主权项

1.一种基板不良检查方法，其特征在于，包括：第一不良检查步骤，其在向第一方向移送第一基板的同时检查所述第一基板的一部分；以及第二不良检查步骤，其在向第二方向移送所述第一基板的同时检查所述第一基板的其他部分，其中，所述第一方向与所述第二方向相互垂直，所述第一不良检查步骤通过设置在包含于清洗机与转台之间的第一支撑结构体的第一支撑件上的两个第一摄像头检查所述第一基板的边缘中的一部分，所述第二不良检查步骤通过设置在包含于所述转台与移动通信部之间的第二支撑结构体的第二支撑件上的两个第二摄像头检查所述第一基板的其他边缘，对应于所述第二摄像头的光源设置在所述第二支撑件上，所述第一支撑件与所述第二支撑件是不同的支撑件，将清洗后的第一基板放置在机械手的第一臂使其位于所述第二摄像头与对应的光源之间，将清洗前的第二基板放置在机械手的第二臂，所述第一基板及所述第二基板放置在所述机械手的第一臂及第二臂的状态下，所述第一臂从所述转台移送至所述移送通信部，所述第二臂从所述移送通信部移送至所述转台，通过同时移送所述第一臂及所述第二臂的过程中同时移送所述第一基板及所述第二基板，所述同时移送的期间通过所述第二摄像头检查所述第一基板的边缘。