[发明专利]电感结构的制作方法以及电感结构

摘要

本发明提供一种电感结构的制作方法和电感结构，本发明电感结构的制作方法包括提供衬底；在衬底上形成介质层和位于所述介质层中的电感线圈，介质层覆盖所述电感线圈；对介质层表面进行平坦化处理；在位于电感线圈内部区域的介质层中形成第一凹槽；在第一凹槽内形成磁性层。本发明电感结构包括上表面齐平的介质层；位于介质层中的电感线圈；位于所述电感线圈内部区域的介质层中的磁性层，磁性层能够增加电感线圈的感值，由于对介质层表面进行平坦化处理，能够使介质层上表面保持齐平，不会因为电感线圈的影响而产生台阶，去除介质层上的磁性材料层后，不会在台阶产生环状残留，从而能够减小涡流，提高电感线圈的Q值，进而提高电感线圈的性能。

主权项

一种电感结构的制作方法，其特征在于，包括：提供衬底；在所述衬底上形成介质层和位于所述介质层中的电感线圈，所述介质层覆盖所述电感线圈；对所述介质层表面进行平坦化处理；在位于所述电感线圈内部区域的介质层中形成第一凹槽；在所述第一凹槽内以及所述介质层上形成磁性材料层；去除位于所述介质层上的磁性材料层，位于所述第一凹槽内的磁性材料层形成磁性层；在所述衬底上形成位于所述介质层中的电感线圈的步骤中，所述制作方法还包括：形成位于所述介质层中的互连结构，所述互连结构包括焊盘，所述焊盘和电感线圈均为顶层金属材料；形成所述第一凹槽的方法包括：在所述介质层上形成具有第一开口和第二开口的第二图形化掩膜层，所述第一开口暴露出位于所述电感线圈内部区域的介质层上表面，所述第二开口暴露出焊盘上方的介质层上表面；以所述第二图形化掩膜层为掩膜，以所述焊盘表面作为停止层，刻蚀所述介质层形成露出焊盘表面的第二凹槽，在位于所述电感线圈内部区域的介质层内形成第一凹槽，之后去除所述第二图形化掩膜层。