[发明专利]智能电子扫描镜在审
| 申请号： | 201410353413.8 | 申请日： | 2014-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN104157539A | 公开（公告）日： | 2014-11-19 |
| 发明（设计）人： | 卓朝旦 | 申请（专利权）人： | 奉化市宇创产品设计有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/26 | 分类号： | H01J37/26;H01J37/28 |
| 代理公司： | 无 | 代理人： | 无 |
| 地址： | 315500 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明给出一种智能电子扫描镜，主要由电子发射枪(1)、聚光镜(2)、透镜(3)、扫描仪(4)、取样器(5)、闪烁器(6)、倍增管(7)和显像仪(8)构成，聚光镜(2)、透镜(3)和扫描仪(4)依次设置在电子发射枪(1)的发射方向，所述扫描仪(4)连接有发生器(9)，所述取样器(5)连接有放大器(10)，所述取样器(5)和显像仪(8)之间分别设置有闪烁器(6)和倍增管(7)。本发明的智能电子扫描镜，通过设置智能式控制，反馈来控制电子探针的扫描频率和强度，实现对材料的高精度显像，从而能够对各种材料进行多种形式的表面的观察与分析。 | ||
| 搜索关键词： | 智能 电子扫描 | ||
【主权项】：
一种智能电子扫描镜，主要由电子发射枪(1)、聚光镜(2)、透镜(3)、扫描仪(4)、取样器(5)、闪烁器(6)、倍增管(7)和显像仪(8)构成，其特征在于：所述聚光镜(2)、透镜(3)和扫描仪(4)依次设置在电子发射枪(1)的发射方向，所述扫描仪(4)连接有发生器(9)，所述取样器(5)连接有放大器(10)，所述取样器(5)和显像仪(8)之间分别设置有闪烁器(6)和倍增管(7)。
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