[发明专利]半导体组件和制造方法有效

专利信息
申请号: 201410357144.2 申请日: 2014-07-25
公开(公告)号: CN104347616B 公开(公告)日: 2017-09-08
发明(设计)人: A.S.卡什亚普;P.M.桑维克;周锐;P.A.罗西 申请(专利权)人: 通用电气公司
主分类号: H01L27/02 分类号: H01L27/02;H01L21/82
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司72001 代理人: 叶晓勇,姜甜
地址: 美国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 提供一种半导体组件和制造方法。单片集成半导体组件包括包含Si的衬底,氮化镓(GaN)GaN半导体装置在衬底上制作。半导体组件还包括在衬底之中或之上制作的至少一个瞬态电压抑制器(TVS)结构,其中TVS结构与GaN半导体装置电接触。TVS结构配置成在跨GaN半导体装置的所施加电压大于阈值电压时工作在穿通模式、雪崩模式或者它们的组合模式。
搜索关键词: 半导体 组件 制造 方法
【主权项】:
一种单片集成半导体组件,包括:包括硅Si的衬底;在所述衬底上制作的氮化镓GaN半导体装置;以及在所述衬底之中或之上制作的至少一个瞬态电压抑制器TVS结构,其中所述TVS结构与所述GaN半导体装置电接触,并且所述TVS结构配置成在跨所述GaN半导体装置的所施加电压大于阈值电压时工作在穿通模式;其中,所述TVS结构包括:第一半导体区,具有第一导电类型;第二半导体区,具有第二导电类型,并且与所述第一半导体区电接触;以及第三半导体区,具有第一导电类型,并且与所述第二半导体区电接触。
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