[发明专利]利用FIB切割以实现纳米级样品的三维观测方法在审
| 申请号： | 201410360305.3 | 申请日： | 2014-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN104155158A | 公开（公告）日： | 2014-11-19 |
| 发明（设计）人： | 陈以欣;李晓旻 | 申请（专利权）人： | 胜科纳米（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28;G01N1/04;G01N23/22 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市工业园区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种利用FIB切割以实现纳米级样品的三维观测方法。该方法包括：提供待测样品；对所述待测样品的感兴趣区域沿第一方向切割进行第一TEM薄片样品制备，获得第一TEM薄片样品，并从第二方向进行TEM观测；对所述第一TEM薄片样品沿第二方向切割进行第二TEM薄片样品制备，获得第二TEM薄片样品，并从第一方向进行TEM观测；对所述第二TEM薄片样品沿第一方向切割进行第三TEM薄片样品制备，获得第三TEM薄片样品，并从第三方向进行TEM观测；所述第一方向、第二方向及第三方向两两垂直。本发明的方法成本低廉、简单易行、方便且可靠性高。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 fib 切割 实现 纳米 样品 三维 观测 方法 | ||
【主权项】：
一种利用FIB切割以实现纳米级样品的三维观测方法，该方法包括：提供待测样品，所述待测样品具有缺陷；对所述待测样品的感兴趣区域沿第一方向切割进行第一TEM薄片样品制备，获得第一TEM薄片样品，并从第二方向进行TEM观测；对所述第一TEM薄片样品沿第二方向切割进行第二TEM薄片样品制备，获得第二TEM薄片样品，并从第一方向进行TEM观测；对所述第二TEM薄片样品沿第一方向切割进行第三TEM薄片样品制备，获得第三TEM薄片样品，并从第三方向进行TEM观测；所述第一方向、第二方向及第三方向两两垂直。
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