[发明专利]浸没式光刻机流体控制系统的模块化工作流程控制方法有效
| 申请号： | 201410361764.3 | 申请日： | 2014-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN104181776A | 公开（公告）日： | 2014-12-03 |
| 发明（设计）人： | 傅新;李星;陈文昱;陈伊骅 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G05B19/418 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林超 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种浸没式光刻机流体控制系统的模块化工作流程控制方法。根据目标系统流体的传输路线及流体性质，将该系统分为多个具有不同功能的控制模块；分别制定每个控制模块各自的工作流程、状态位及故障位；采用阻塞方法进行自动模式下各个控制模块之间工作流程的时序配合，通过调用控制模块的接口对手动模式下各个控制模块的工作流程进行控制。本发明使系统中各个模块可独立工作，减少单个模块出现故障对系统的影响，减小了功能模块的耦合度，提高系统控制的灵活度；同时模块间能够自动进行时序流程操作及故障保护，保证模块间能够高效协调配合，简化了控制过程，保证了流体控制系统设计过程的有效性、高效性及可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 浸没 光刻 流体 控制系统 模块化 工作 流程 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种浸没式光刻机流体控制系统的模块化工作流程控制方法，其特征在于：根据目标系统流体的传输路线及流体性质，将该系统分为多个具有不同功能的控制模块；分别制定每个控制模块各自的工作流程、状态位及故障位；在控制模块各自的工作流程中采用阻塞方法进行自动模式下各个控制模块之间工作流程的时序配合，通过调用控制模块的接口对手动模式下各个控制模块的工作流程进行控制。
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