[发明专利]一种卷绕式ITO结晶设备

摘要

一种卷绕式ITO结晶设备，包括放膜辊，第一组夹紧辊，高温辊，第二组夹紧辊，收膜辊，第一速度检测传感器，薄膜，第二速度检测传感器；其中：放膜辊与第一组夹紧辊平行布置在框架上，第一组夹紧辊和高温辊平行布置在框架上；高温辊和第二组夹紧辊平行布置在框架上，第二组夹紧辊和收膜辊平行布置在框架上；第一速度检测传感器布置在第二组夹紧辊的下后方；第二速度检测传感器布置在第一组夹紧辊的下前方；薄膜绕在放膜辊上，顺次通过第一组夹紧辊、高温辊、第二组夹紧辊和收膜辊上。本发明的优点：加热辊能与零张力的薄膜完整贴合，且能保证每一点都能受热均匀，可以有效解决薄膜宽度的限制，可制备大尺寸ITO结晶膜。

主权项

一种卷绕式ITO结晶设备，其特征在于：所述的卷绕式ITO结晶设备，包括放膜辊(1)，第一组夹紧辊(2)，高温辊(4)，第二组夹紧辊(5)，收膜辊(6)，第一速度检测传感器(7)，薄膜(8)，第二速度检测传感器(9)；其中：放膜辊(1)与第一组夹紧辊(2)平行布置在框架上，第一组夹紧辊(2)和高温辊(4)平行布置在框架上；高温辊(4)和第二组夹紧辊(5)平行布置在框架上，第二组夹紧辊(5)和收膜辊(6)平行布置在框架上；第一速度检测传感器(7)布置在第二组夹紧辊(5)的下后方；第二速度检测传感器(9)布置在第一组夹紧辊(2)的下前方；薄膜(8)绕在放膜辊(1)上，顺次通过第一组夹紧辊(2)、高温辊(4)、第二组夹紧辊(5)和收膜辊(6)上。