[发明专利]氧化物薄膜晶体管、阵列基板及其制造方法和显示装置在审
申请号: | 201410367658.6 | 申请日: | 2014-07-29 |
公开(公告)号: | CN104157697A | 公开(公告)日: | 2014-11-19 |
发明(设计)人: | 王灿;刘芳 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/786 | 分类号: | H01L29/786;H01L23/552;H01L27/12;H01L21/77 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 彭久云 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种氧化物薄膜晶体管、阵列基板及其制造方法和显示装置。该氧化物薄膜晶体管,包括衬底基板和依次设置在所述衬底基板上的栅极、栅绝缘层、氧化物有源层、源漏电极;还包括设置在氧化物有源层之上的紫外阻挡层,其中所述紫外阻挡层由包括紫外吸收剂的树脂材料制成。通过设置紫外阻挡层,阻挡紫外线对氧化物薄膜晶体管的影响,提高氧化物薄膜晶体管稳定性。 | ||
搜索关键词: | 氧化物 薄膜晶体管 阵列 及其 制造 方法 显示装置 | ||
【主权项】:
一种氧化物薄膜晶体管,包括:衬底基板;和依次设置在所述衬底基板上的栅极、栅绝缘层、氧化物有源层、源漏电极;所述氧化物薄膜晶体管还包括:设置在氧化物有源层之上的紫外阻挡层,其中所述紫外阻挡层由包括紫外吸收剂的树脂材料制成。
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