[发明专利]一种抗风压的气压传感器封装结构有效
申请号: | 201410371301.5 | 申请日: | 2014-07-30 |
公开(公告)号: | CN104101459A | 公开(公告)日: | 2014-10-15 |
发明(设计)人: | 黄见秋;陈文浩;黄庆安 | 申请(专利权)人: | 东南大学 |
主分类号: | G01L19/00 | 分类号: | G01L19/00 |
代理公司: | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人: | 杨晓玲 |
地址: | 214000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种抗风压的气压传感器封装结构,从下至上包括芯片基板、气压传感器和封装管壳,所述封装管壳的下部设有封装腔,所述气压传感器置于封装腔内,所述封装管壳置于芯片基板上,所述芯片基板上设有若干上下贯通的基板通风孔,所述封装管壳上设有若干上下贯通的管壳通风孔,且所述基板通风孔和管壳通风孔上下对应,所述封装腔通过若干条空气通道与管壳通风孔连通,且空气通道的位置高于或低于气压传感器。本发明结构可以提高气压传感器工作的精确性、稳定性和可靠性。 | ||
搜索关键词: | 一种 风压 气压 传感器 封装 结构 | ||
【主权项】:
一种抗风压的气压传感器封装结构,其特征在于:从下至上包括芯片基板(1)、气压传感器(2)和封装管壳(3),所述封装管壳(3)的下部设有封装腔(7),所述气压传感器(2)置于封装腔(7)内,所述封装管壳(3)置于芯片基板(1)上,所述芯片基板(1)上设有若干上下贯通的基板通风孔(4),所述封装管壳(3)上设有若干上下贯通的管壳通风孔(5),且所述基板通风孔(4)和管壳通风孔(5)上下对应,所述封装腔(7)通过若干条空气通道(6)与管壳通风孔(5)连通,且空气通道(6)的位置高于或低于气压传感器(2)。
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