[发明专利]一种薄膜晶体管的测试装置及测试方法有效
| 申请号： | 201410373277.9 | 申请日： | 2014-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN104155588B | 公开（公告）日： | 2017-05-24 |
| 发明（设计）人： | 赵剑;郑有贊 | 申请（专利权）人： | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 230011 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种薄膜晶体管的测试装置及测试方法，涉及光电技术领域，可提供一种多元化的信赖性测试系统，从而提高薄膜晶体管的可信赖度，同时简化薄膜晶体管的测试过程。所述测试装置包括测试腔和位于所述测试腔内部的支撑部件；其中，所述支撑部件包括平行于所述测试腔底部的支撑板和用于固定所述支撑板的支撑杆；所述测试装置还包括位于所述测试腔内部的加压探头和测试探头；其中，所述加压探头用于为所述薄膜晶体管提供栅极电压，所述测试探头用于读取所述薄膜晶体管的源极电流；所述测试装置还包括位于所述测试腔内部的加热部件和照明部件。用于薄膜晶体管的信赖性测试。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜晶体管 测试 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种薄膜晶体管的测试装置，其特征在于，包括测试腔和位于所述测试腔内部的支撑部件；其中，所述支撑部件包括平行于所述测试腔底部的支撑板和用于固定所述支撑板的支撑杆；所述测试装置还包括位于所述测试腔内部的加压探头和测试探头；其中，所述加压探头用于为所述薄膜晶体管提供栅极电压，所述测试探头用于读取所述薄膜晶体管的源极电流；所述加压探头和测试探头分别与控制电路相连；所述测试装置还包括位于所述测试腔内部的加热部件和照明部件；所述加热部件位于相对接近所述薄膜晶体管或者正对所述薄膜晶体管的位置处；所述照明部件位于正对所述薄膜晶体管的位置处。
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