[发明专利]曝光设备的光源模块在审

专利信息
申请号: 201410383379.9 申请日: 2014-08-06
公开(公告)号: CN105334702A 公开(公告)日: 2016-02-17
发明(设计)人: 周坤麟;何立克 申请(专利权)人: 叙丰企业股份有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20;G02B7/02
代理公司: 北京市浩天知识产权代理事务所(普通合伙) 11276 代理人: 宋菲;刘云贵
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 发明公开了一种曝光设备的光源模块,包含基座、第一透镜、光源单元、第二透镜及第一调整件或第二调整件,基座具有容置槽;第一透镜设置于基座的容置槽的开口上;光源单元设置于容置槽的底面,光源单元具有电路板及设置于电路板上的LED;第二透镜设置于LED上,第二透镜的面积小于第一透镜;第一调整件连接第一透镜与基座,第二调整件连接第二透镜与基座;其中,光源单元的LED发出的光线经由第二透镜折射后再被该第一透镜折射而呈平行光射出,进而使曝光平面上的曝光区域接收到均匀分布的光强度。
搜索关键词: 曝光 设备 光源 模块
【主权项】:
一种曝光设备的光源模块,其特征在于,包含:基座,具有容置槽;第一透镜,设置于该基座的容置槽的开口上;光源单元,设置于该容置槽的底面,该光源单元具有电路板及设置于该电路板上的LED;第二透镜,设置于该LED上,该第二透镜的面积小于该第一透镜;以及第一调整件或第二调整件,该第一调整件连接该第一透镜与该基座,用于调整该第一透镜与该第二透镜间的距离,该第二调整件连接该第二透镜与该基座,用于调整该第一透镜与该第二透镜间的距离;其中,该光源单元的LED发出的光线经由第二透镜折射后再被该第一透镜折射而呈平行光射出。
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