[发明专利]抛光头有效

专利信息
申请号: 201410384793.1 申请日: 2014-08-07
公开(公告)号: CN104162834B 公开(公告)日: 2016-11-16
发明(设计)人: 陈菊芳 申请(专利权)人: 陈菊芳
主分类号: B24B41/047 分类号: B24B41/047;H01L21/304
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 325200 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种抛光头,包括上盖盘、中盖盘和下盖盘,上盖盘连接有旋转轴,下盖盘连接有夹持器,所述上盖盘和中盖盘之间均匀设置有若干个连杆,连杆的上端铰接于上盖盘的中心,连杆的下端铰接于中盖盘的边缘,连杆的上端与上盖盘之间设置有橡胶缓冲垫,中盖盘的边缘设置有圆形夹片,连杆的下端铰接于圆形夹片内;所述中盖盘和下盖盘之间设置有液压缓冲层,液压缓冲层的外侧设置有硅胶外壁,液压缓冲层内同心设置有第一缓冲环,第一缓冲环内设置有叠片层。本发明能够改进现有技术的不足,进一步提高抛光头旋转时的稳定性。
搜索关键词: 抛光
【主权项】:
抛光头,包括上盖盘(1)、中盖盘(2)和下盖盘(3),上盖盘(1)连接有旋转轴(4),下盖盘(3)连接有夹持器(5),其特征在于 :所述上盖盘(1)和中盖盘(2)之间均匀设置有若干个连杆(6),连杆(6)的上端铰接于上盖盘(1)的中心,连杆(6)的下端铰接于中盖盘(2)的边缘,连杆(6)的上端与上盖盘(1)之间设置有橡胶缓冲垫(7),中盖盘(2)的边缘设置有圆形夹片(8),连杆(6)的下端铰接于圆形夹片(8)内 ;所述中盖盘(2)和下盖盘(3)之间设置有液压缓冲层(9),液压缓冲层(9)的外侧设置有硅胶外壁(10),液压缓冲层(9)内同心设置有第一缓冲环(11),第一缓冲环(11)内设置有叠片层(12);有两个弧形空心管(13)对称设置在所述旋转轴(4)两侧,弧形空心管(13)内设置有重球(14),重球(14)与弧形空心管(13)过盈配合;所述下盖盘(3)内环形设置有若干个通气孔(15),通气孔(15)包括与下盖盘(3)底面相通的毛细管(16),毛细管(16)的进口处设置有斜面(17),毛细管(16)上方设置有敞口管(18),敞口管(18)的敞口端与下盖盘(3)的侧壁相通。
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