[发明专利]抛光头有效
申请号: | 201410384793.1 | 申请日: | 2014-08-07 |
公开(公告)号: | CN104162834B | 公开(公告)日: | 2016-11-16 |
发明(设计)人: | 陈菊芳 | 申请(专利权)人: | 陈菊芳 |
主分类号: | B24B41/047 | 分类号: | B24B41/047;H01L21/304 |
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地址: | 325200 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种抛光头,包括上盖盘、中盖盘和下盖盘,上盖盘连接有旋转轴,下盖盘连接有夹持器,所述上盖盘和中盖盘之间均匀设置有若干个连杆,连杆的上端铰接于上盖盘的中心,连杆的下端铰接于中盖盘的边缘,连杆的上端与上盖盘之间设置有橡胶缓冲垫,中盖盘的边缘设置有圆形夹片,连杆的下端铰接于圆形夹片内;所述中盖盘和下盖盘之间设置有液压缓冲层,液压缓冲层的外侧设置有硅胶外壁,液压缓冲层内同心设置有第一缓冲环,第一缓冲环内设置有叠片层。本发明能够改进现有技术的不足,进一步提高抛光头旋转时的稳定性。 | ||
搜索关键词: | 抛光 | ||
【主权项】:
抛光头,包括上盖盘(1)、中盖盘(2)和下盖盘(3),上盖盘(1)连接有旋转轴(4),下盖盘(3)连接有夹持器(5),其特征在于 :所述上盖盘(1)和中盖盘(2)之间均匀设置有若干个连杆(6),连杆(6)的上端铰接于上盖盘(1)的中心,连杆(6)的下端铰接于中盖盘(2)的边缘,连杆(6)的上端与上盖盘(1)之间设置有橡胶缓冲垫(7),中盖盘(2)的边缘设置有圆形夹片(8),连杆(6)的下端铰接于圆形夹片(8)内 ;所述中盖盘(2)和下盖盘(3)之间设置有液压缓冲层(9),液压缓冲层(9)的外侧设置有硅胶外壁(10),液压缓冲层(9)内同心设置有第一缓冲环(11),第一缓冲环(11)内设置有叠片层(12);有两个弧形空心管(13)对称设置在所述旋转轴(4)两侧,弧形空心管(13)内设置有重球(14),重球(14)与弧形空心管(13)过盈配合;所述下盖盘(3)内环形设置有若干个通气孔(15),通气孔(15)包括与下盖盘(3)底面相通的毛细管(16),毛细管(16)的进口处设置有斜面(17),毛细管(16)上方设置有敞口管(18),敞口管(18)的敞口端与下盖盘(3)的侧壁相通。
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