[发明专利]光照射装置以及光照射方法

摘要

本发明提供一种光照射装置以及光照射方法，能够不经由石英玻璃等透光板而向基体材料的主表面照射闪光，且能够抑制照射闪光的空间的容积。该光照射装置(1)利用基体材料(9)的主表面和在靠近基体材料(9)的主表面一侧形成有开口部(32)的框体(30)，形成单一的闭合空间。然后，从配置在该密闭空间中的光照射部(20)向基体材料(9)的主表面(91)照射闪光。不经由石英玻璃等透光板而向基体材料(9)的主表面(91)照射闪光，因此能够抑制闪光的能量损失，并且能够抑制光照射装置(1)的制造成本。另外，能够抑制照射闪光的空间的容积。

主权项

一种光照射装置，用于向基体材料的主表面照射闪光，其特征在于，具有：保持部，其保持所述基体材料；光照射部，其向由所述保持部保持的所述基体材料的主表面照射闪光；框体，其将所述光照射部容置在单一的内部空间内，并且在靠近所述基体材料一侧形成有开口部；密封构件，其设置在所述框体的所述开口部的周缘上；接触分离机构，其使所述基体材料以及所述密封构件进行相对移动，以使所述基体材料的主表面与所述密封构件接触以及分离。