[发明专利]用于衬底双面图案形成的方法和系统

摘要

本发明有关用于衬底双面图案形成的方法和系统。本发明涉及一种在衬底的第一和第二相反两面上形成图案的方法和系统。该方法和系统可以采用模具组件且在衬底的第一和第二相反两面与模具组件之间获得期望的空间关系。在另一实施方式中，该方法和系统可采用第一和第二模具组件。

主权项

一种用模具组件使衬底形成图案的方法，所述衬底具有第一和第二相反两面，所述方法包括以下步骤：将所述衬底置于具有空腔的衬底夹具上，所述衬底的所述第一面朝向所述模具组件且所述衬底的所述第二面朝向所述衬底夹具；用光学检测系统确定所述衬底和所述模具组件之间的第一空间关系，及获得所述第一空间关系以使所述衬底的所述第一面与所述模具组件叠加，所述模具组件和所述衬底的所述第一面使一材料置于它们之间；用所述模具组件以所述材料在所述衬底的所述第一面形成图案，从而限定第一图案形成层；用光学检测系统确定所述衬底和所述模具组件之间的第二空间关系，及获得不同于所述第一空间关系的所述第二空间关系以使所述衬底的所述第二面与所述模具组件叠加，所述模具组件和所述衬底的所述第二面使一材料置于它们之间，其中获得所述第二空间关系包括：将所述衬底置于所述衬底夹具上使得所述第一图案形成层在所述衬底夹具的所述空腔内，以最小化在所述衬底的所述第二面形成图案期间对所述第一图案形成层的损坏；以及用所述模具组件以所述材料在所述衬底的所述第二面上形成图案，从而限定第二图案形成层。