[发明专利]基板的涂敷装置以及基板的涂敷方法有效
| 申请号： | 201410403278.3 | 申请日： | 2014-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN105080766B | 公开（公告）日： | 2017-08-11 |
| 发明（设计）人： | 户内八郎 | 申请（专利权）人： | 中外炉工业株式会社 |
| 主分类号： | B05B13/04 | 分类号： | B05B13/04;B05D1/02;B05D3/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 刘建 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板的涂敷装置以及基板的涂敷方法，其由于使基板的涂膜厚度均匀化，特别是，即使至少在基板的涂敷末端使喷嘴朝向上方移动的情况下，也能够使由追随于喷嘴的固化机构实施的涂液的固化处理均质化，并且能够提高处理控制的通用性。基板的涂敷装置(1)通过从喷嘴(7)喷出的涂液对基板(2)进行涂敷处理，并通过固化机构(9)对被涂敷在基板上的涂液进行固化处理，所述喷嘴被行走于行走轨道(5)上的喷嘴用支承柱(6)支承为升降自如，所述基板的涂敷装置具备固化机构用支承柱(8)，所述固化机构用支承柱独立于喷嘴用支承柱的行走而单独地行走于行走轨道上，并且以独立于喷嘴的升降动作的方式单独地将固化机构支承为升降自如。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
一种基板的涂敷装置，其通过从喷嘴喷出的涂液对基板进行涂敷处理，并通过固化机构对被涂敷在该基板上的涂液进行固化处理，所述喷嘴以升降自如的方式被行走于行走轨道上的喷嘴用支承柱支承，所述基板的涂敷装置的特征在于，具备固化机构用支承柱，所述固化机构用支承柱独立于喷嘴用支承柱的行走而单独地行走于上述行走轨道上，并且以独立于上述喷嘴的升降动作的方式单独地支承上述固化机构并使其升降自如。
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