[发明专利]电感结构及其制作方法

摘要

一种电感结构及其制作方法，该电感结构的制作方法包含下列步骤提供具有多个焊垫的基板；于基板与焊垫上形成具有多个保护层开口的保护层，使焊垫分别由保护层开口露出；于焊垫与保护层上形成导电层；于导电层上形成图案化的第一光阻层，使导电层由多个第一光阻层开口露出；于第一光阻层开口中的导电层上分别形成多个铜块；于第一光阻层上形成图案化的第二光阻层，使铜块的至少一个由第二光阻层开口与对应的第一光阻层开口露出；于露出第二光阻层开口的铜块上依序形成扩散阻障层与抗氧化层。去除第一光阻层、第二光阻层及未被铜块覆盖的导电层。本发明不仅可节省扩散阻障层与抗氧化层的材料花费，且能降低电感结构的线路总电阻值。

主权项

一种电感结构，其特征在于，包含：一基板，具有多个焊垫；一保护层，位于该基板与所述焊垫上，该保护层具有多个保护层开口，所述焊垫分别由所述保护层开口露出；一图案化的导电层，位于所述焊垫与该保护层紧邻所述保护层开口的表面上；一第一铜块，位于该导电层上；一第二铜块，位于该导电层上；一扩散阻障层，位于该第一铜块上，使该第一铜块位于该扩散阻障层与该导电层之间；以及一抗氧化层，位于该扩散阻障层上，且该第二铜块上无该扩散阻障层与该抗氧化层。