[发明专利]芯片的进给装置

摘要

本发明提供一种能够将芯片高效地进给到设置于进给托盘的收容部的芯片的进给装置。该芯片的进给装置为具备以下部件的结构进给托盘(10)，其配设有收容芯片的多个收容部(11)；吸引单元(20)，其从收容部进行吸引；加振单元(30)，其向进给托盘施加振动；和控制单元，其向进给托盘上提供芯片，并在通过加振单元向进给托盘施加了振动的状态下，对通过吸引单元来吸引收容部的状态与停止吸引的状态进行周期性的切换，通过从加振单元向进给托盘施加的振动和吸引单元从收容部进行的吸引，将向进给托盘上提供的芯片进给到收容部。此外，在振动的1个周期内，至少进行1次基于吸引单元的来自收容部的吸引。在振幅最大时负压为最大区域，在振幅最小时负压为最小区域。

主权项

一种芯片的进给装置，具备：进给托盘，其配设有收容芯片的收容部；吸引单元，其从所述收容部进行吸引，并促进所述芯片向所述收容部的进给；加振单元，其向所述进给托盘施加振动；和控制单元，其向所述进给托盘上提供所述芯片，并在通过所述加振单元向所述进给托盘施加了振动的状态下，对通过所述吸引单元来吸引所述收容部的状态与停止吸引的状态进行周期性的切换，所述芯片的进给装置的特征在于，构成为：通过从所述加振单元向所述进给托盘施加的振动和所述吸引单元从所述收容部进行的吸引，将被提供至所述进给托盘上的所述芯片进给到所述收容部，所述控制单元构成为：进行控制，以使得在通过所述加振单元向所述进给托盘施加的所述振动的1个周期内，至少进行1次所述吸引单元进行的所述收容部的吸引的开始与吸引的停止。