[发明专利]化学机械研磨之研磨液供给装置在审
| 申请号： | 201410422520.1 | 申请日： | 2014-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN104308744A | 公开（公告）日： | 2015-01-28 |
| 发明（设计）人： | 丁弋;朱也方 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种化学机械研磨之研磨液供给装置，包括：研磨液供给手臂，活动设置在研磨机台上，并在所述研磨液供给手臂之一侧间隔设置独立的研磨液供给管路；承载轴，固定设置在所述研磨液供给手臂之内侧；研磨液供给组件，滑动设置在所述承载轴上，并用于提供研磨液，且选择性的通过所述研磨液供给管路施加在研磨垫上。本发明化学机械研磨之研磨液供给装置通过在所述研磨机台设置内置马达，控制所述研磨液供给手臂沿着研磨垫所在的平面转动，并在所述研磨液供给手臂之一侧间隔设置独立的研磨液供给管路，以通过所述控制单元使得所述研磨液供给组件与所述研磨液供给管路进行选择性的连通，调节所述研磨液之供给，提高晶圆整体的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 机械 研磨 供给 装置 | ||
【主权项】：
一种化学机械研磨之研磨液供给装置，其特征在于，所述化学机械研磨之研磨液供给装置，包括：研磨液供给手臂，活动设置在研磨机台上，并在所述研磨液供给手臂之一侧间隔设置独立的研磨液供给管路；承载轴，固定设置在所述研磨液供给手臂之内侧；研磨液供给组件，滑动设置在所述承载轴上，并用于提供研磨液，且选择性的通过所述研磨液供给管路施加在研磨垫上。
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