[发明专利]微机械结构元件和用于微机械结构元件的相应检查方法

摘要

本发明提供了一种微机械结构元件和一种用于微机械结构元件的相应检查方法。微机械结构元件包括：至少一个第一区域(1)，所述至少一个第一区域通过一弹簧装置(2a)与一第二区域(100)弹性连接；一布置在所述弹簧装置(2a)中和/或上的电阻装置(R；R1；R″；R″'；R1、R2、R0)，所述电阻装置能够在所述弹簧装置(2a、2b；2a'、2a″、2b'、2b″；22‑25)损坏时至少部分被中断；一检测装置(50；50')，所述检测装置与所述电阻装置(R)电连接，用于检测所述电阻装置(R；R1；R″；R″'；R1、R2、R0)的中断和用于产生相应的检测信号(S)。

主权项

1.微机械结构元件，其具有：至少一个第一区域(1；1a)，所述至少一个第一区域通过一弹簧装置(2a、2b；2a'、2a”、2b'、2b”；22‑25)与一第二区域(100；1b)弹性连接，其中，所述弹簧装置具有第一区段(22、23)和第二区段(24、25)；一布置在所述弹簧装置(2a、2b)中和/或上的电阻装置(R；R1；R”；R”'；R1、R2、R0)，所述电阻装置能够在所述弹簧装置(2a、2b；2a'、2a”、2b'、2b”；22‑25)损坏时至少部分被中断，并且，所述电阻装置以依次经过所述第一区段、所述第一区域和所述第二区段的方式延伸；和一检测装置(50；50')，所述检测装置与所述电阻装置(R)电连接，用于检测所述电阻装置(R；R1；R”；R”'；R1、R2、R0)的中断和用于产生一相应的检测信号(S；S1、S2)，并且其中，所述电阻装置(R1、R2、R0)在所述第一区段(22、23)和所述第二区段(24、25)中不同地构造并且以如下方式与所述检测装置(50；50')接线，即，所述检测装置(50；50')在所述第一区段(22、23)中的所述电阻装置(R1、R2、R0)中断时提供第一检测信号(S1)并且在所述第二区段(24、25)中的所述电阻装置(R1、R2、R0)中断时提供与第一检测信号不同的第二检测信号(S2)。