[发明专利]一种将异型中电流离子注入机导入量产的方法

摘要

本发明公开了一种将异型中电流离子注入机导入量产的方法，通过将已在现实中应用的可变式注入硅片法，来进行新型中电流离子注入机和旧型中电流离子注入机之间的剂量匹配，可节省上百枚硅片，实现生产成本的降低，同时也节省了生产时间，进而提高了生产效率和经济效益。

主权项

一种将异型中电流离子注入机导入量产的方法，其特征在于，包括如下步骤；提供第一硅片，在硅片中定义有中心注入区和位于该中心注入区两侧并关于该中心区对称的至少两个注入区；采用第一离子注入设备对各注入区进行离子注入，并保证位于中心注入区一侧的注入区至位于中心注入区另一侧的注入区的注入剂量逐渐递增，并在注入完成后获取硅片各注入区的电阻值；提供第二硅片，采用第二离子注入设备对该第二硅片进行离子注入，且注入的剂量与所述第一硅片的中心区的注入剂量相同，获取该硅片的电阻值；根据第一硅片各注入区的注入剂量和电阻值以及第二硅片的注入剂量和电阻值，求得将第一离子注入设备代替第二离子注入设备进行离子注入时，所选用的最佳注入剂量。