[发明专利]一种在湿法蚀刻中贵金属回收装置及回收方法无效
申请号: | 201410445332.0 | 申请日: | 2014-09-03 |
公开(公告)号: | CN104233303A | 公开(公告)日: | 2014-12-24 |
发明(设计)人: | 李伟华 | 申请(专利权)人: | 上海和辉光电有限公司 |
主分类号: | C23F1/46 | 分类号: | C23F1/46;C22B11/00;C22B7/00 |
代理公司: | 上海唯源专利代理有限公司 31229 | 代理人: | 曾耀先 |
地址: | 201508 上海市金山区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供了一种在湿法蚀刻中贵金属回收装置,包括:内部为空腔结构的回收容器,回收容器上开设有:进料口、进水口、出水口以及出料口;贵金属废液中的贵金属通过活性炭纤维进行回收。本发明还公开了一种基于上述贵金属回收装置的回收方法,包括:通过进料口把原活性炭纤维放入回收容器内;通过进水口把贵金属废液放入回收容器内;原活性炭纤维对贵金属废液内的贵金属进行吸附;吸附饱和后,通过出水口排出废液;通过出料口排出吸附有贵金属的活性炭纤维。本发明解决了Ag蚀刻液中回收Ag贵金属的问题,以此降低生产成本并减少环境污染。 | ||
搜索关键词: | 一种 湿法 蚀刻 贵金属 回收 装置 方法 | ||
【主权项】:
一种在湿法蚀刻中贵金属回收装置,其特征在于,包括:用于进行吸附反应的回收容器,所述回收容器内部为空腔结构;设置于所述回收容器上部的进水口,所述进水口用于添加贵金属废液并与所述空腔结构导通;设置于所述回收容器顶部并与所述空腔结构导通的进料口,所述进料口用于添加原活性炭纤维以吸附所述贵金属废液中的贵金属,所述进水口通过所述空腔结构与所述进料口导通;设置于所述回收容器顶部并与所述空腔结构导通的出水口,所述出水口用于排出经吸附过程后的废液,所述进水口及所述进料口通过所述空腔结构与所述出水口相互导通;以及设置于所述回收容器底部并与所述空腔结构导通的出料口,所述出料口用于排出吸附贵金属后的活性炭纤维,所述进水口、所述进料口及所述出水口通过所述空腔结构与所述出料口相互导通;所述贵金属废液中的贵金属通过所述活性炭纤维进行回收。
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