[发明专利]超精密运动平台机械谐振的抑制方法有效
| 申请号： | 201410448517.7 | 申请日： | 2014-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN104267597A | 公开（公告）日： | 2015-01-07 |
| 发明（设计）人： | 陈兴林;刘法志;刘帅;刘启循;魏凯;范文超;张之万;杨旭东 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G05B13/04 | 分类号： | G05B13/04;G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150000 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 超精密运动平台机械谐振的抑制方法，属于运动平台机械谐振的抑制领域。为了解决目前的超精密运动平台的机械谐振抑制效果差的问题。包括：根据运动平台的宏微耦合力学模型，建立六自由度精密运动平台y向宏微耦合的模型；采用自适应实数编码遗传算法辨识出建立的宏微耦合模型的未知参数，进而分别建立宏动台和微动台的机械谐振模型，再采用自适应实数编码遗传算法辨识出机械谐振模型中未知参数，获得宏动台的4个机械谐振模型和微动台的2个机械谐振模型；进而获得宏动台的4个陷波器和微动台的2个陷波器；将宏动台的4个陷波器和宏动台串联，将微动台的2个陷波器和微动台串联，完成宏动台和微动台机械谐振的抑制。它用于抑制运动平台机械谐振。 | ||
| 搜索关键词： | 精密 运动 平台 机械 谐振 抑制 方法 | ||
【主权项】：
超精密运动平台机械谐振的抑制方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：步骤一：根据运动平台的宏微耦合力学模型，建立六自由度精密运动平台y向宏微耦合的模型；步骤二：采用自适应实数编码遗传算法辨识出步骤一建立的宏微耦合的模型的未知参数；步骤三：根据步骤二辨识出参数的宏微耦合的模型，分别建立宏动台的机械谐振模型和微动台的机械谐振模型，再采用自适应实数编码遗传算法分别辨识出宏动台的机械谐振模型和微动台的机械谐振模型中的未知参数，获得辨识出参数的宏动台的4个机械谐振模型和微动台的2个机械谐振模型；步骤四：根据步骤三中辨识出参数的宏动台机械谐振模型的主要谐振频率点和微动台机械谐振模型的主要谐振频率点，分别获得宏动台的4个陷波器和微动台的2个陷波器；步骤五：将宏动台的4个陷波器和宏动台串联，将微动台的2个陷波器和微动台串联，完成宏动台和微动台机械谐振的抑制。
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