[发明专利]对高分辨率数字编码激光扫描器的优化以进行精细特征标记有效
| 申请号： | 201410455972.X | 申请日： | 2014-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN104416289B | 公开（公告）日： | 2017-09-12 |
| 发明（设计）人： | K·格罗斯 | 申请（专利权）人： | 恩耐公司 |
| 主分类号： | B23K26/352 | 分类号： | B23K26/352;B23K26/082;B23K26/046;B23K26/064;B23K26/70 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司72002 | 代理人： | 陈松涛,王英 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及对高分辨率数字编码激光扫描器的优化以进行精细特征标记。本文公开的是激光扫描系统及其使用方法。在一些实施例中，激光扫描系统可以被用于以烧蚀方式或非烧蚀方式扫描材料的表面。一些实施例包括扫描多层结构的方法。一些实施例包括对聚焦调节光学系统进行平移，从而改变激光束直径。一些实施例利用了20比特的激光扫描系统。 | ||
| 搜索关键词： | 高分辨率 数字 编码 激光 扫描器 优化 进行 精细 特征 标记 | ||
【主权项】：
一种方法，包括：接收在至少一个计算机可读存储介质中存储的图案说明，所述图案说明包括对与扫描向量相关联的至少一个图案特征的限定，所述扫描向量与激光束偏转角度相关联；并且基于所述图案说明，使用20比特数字激光扫描器将激光束引导在基板的固定扫描区域之上，其中以小于激光束直径的1/20的横向位移分辨率将所述激光束引导在所述固定扫描区域之上。
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