[发明专利]玻璃基板传递系统及其机械手有效
| 申请号： | 201410459533.6 | 申请日： | 2014-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN104386489A | 公开（公告）日： | 2015-03-04 |
| 发明（设计）人： | 孙世英 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/91 | 分类号： | B65G47/91;B65G49/06;B25J15/06 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人： | 何青瓦 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市光明新区公*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种玻璃基板传递系统及其机械手，该机械手包括基板叉、移动组件以及真空吸盘，其中，基板叉用于叉取玻璃基板，移动组件与基板叉连接，用于使得基板叉在工作空间内移动，真空吸盘设于基板叉上，用于吸取玻璃基板，真空吸盘设有流体回路，流体回路内装有冷却流体，以对真空吸盘进行散热。本发明提供的玻璃基板传递系统及其机械手及时对真空吸盘进行降温，避免因真空吸盘过热影响产品质量，提升了产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 传递 系统 及其 机械手 | ||
【主权项】：
一种机械手，其特征在于，包括：基板叉，用于叉取玻璃基板；移动组件，与所述基板叉连接，用于使得所述基板叉在工作空间内移动；真空吸盘，设于所述基板叉上，用于吸取所述玻璃基板，所述真空吸盘设有流体回路，所述流体回路内装有冷却流体，以对所述真空吸盘进行散热。
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