[发明专利]氧化硅膜的制造方法

摘要

本发明提供一种氧化硅膜的制造方法。在该方法中，将在表面具有金属膜的基板设置在反应容器内，在设置了所述基板之后，利用氢气供给部件开始向所述反应容器内供给氢气。在供给氢气之后，利用氧化气体供给部件开始向所述反应容器内供给氧化气体，并且利用含硅气体供给部件开始向所述反应容器内供给含硅气体。 1

主权项

1.一种氧化硅膜的制造方法，其中，将在表面具有金属膜的基板设置在反应容器内，在设置所述基板的步骤之后，利用氢气供给部件开始向所述反应容器内供给氢气，利用氧化气体供给部件开始向所述反应容器内供给氧化气体，利用含硅气体供给部件开始向所述反应容器内供给含硅气体，在开始供给所述氢气的步骤之后，实施开始供给所述氧化气体的步骤和开始供给所述含硅气体的步骤，在将所述氢气和所述氧化气体作为整体的每个单位时间的供给量设为1的情况下，以所述氢气的供给量的比率为0.1～0.6的方式供给所述氢气。