[发明专利]半导体制造的事件检查系统及方法在审
| 申请号： | 201410468339.4 | 申请日： | 2014-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN104268788A | 公开（公告）日： | 2015-01-07 |
| 发明（设计）人： | 张志彬;邵雄 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G06Q50/04 | 分类号： | G06Q50/04 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明揭示了一种半导体制造的事件检查系统，包括：数据导入模块，从制造执行系统导入所有事件的数据；键入模块，用于键入一需查询信息；分析模块，根据所述需查询信息，从所述所有事件的数据中提取一相关事件的数据，所述相关事件为与所述需查询信息相关事件；同时，所述分析模块计算所述相关事件的驳回次数以及处理用时；报表生成模块，根据上述相关事件的数据、驳回次数以及处理用时，生成事件数据表；显示模块，显示所述事件数据表。本发明的还公开了半导体制造的事件检查方法。本发明提供的半导体制造的事件检查系统及方法能够提高半导体制造自动化的控制效率。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 制造 事件 检查 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种半导体制造的事件检查系统，包括：数据导入模块，从制造执行系统导入所有事件的数据；键入模块，用于键入一需查询信息；分析模块，根据所述需查询信息，从所述所有事件的数据中提取一相关事件的数据，所述相关事件为与所述需查询信息相关事件；同时，所述分析模块计算所述相关事件的驳回次数以及处理用时；报表生成模块，根据上述相关事件的数据、驳回次数以及处理用时，生成事件数据表；以及显示模块，显示所述事件数据表。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海华力微电子有限公司，未经上海华力微电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410468339.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
