[发明专利]一种具有绝缘防呆装置的PVD机台铝室的HTHU加热器

摘要

本发明提供了一种具有绝缘防呆装置的PVD机台铝室的HTHU加热器，具体地，在保证金属升降环与金属螺丝之间绝缘的陶瓷隔热片的螺丝孔处增加一圈圆柱形凸起，该带有凸起的陶瓷隔热片安装在金属升降环和金属螺丝之间，使金属升降环和金属螺丝完全隔离，这样在机台的使用过程中，即使金属升降环的位置稍微偏移，由于凸起的设置，金属螺丝也不会接触到金属升降环，进而不会导致加热器接地，从而避免晶圆粘连，避免报废问题。

主权项

一种具有绝缘防呆装置的PVD机台铝室的HTHU加热器，在PVD机台铝室中，金属升降模块通过金属升降环及金属升降杆升降金属HTHU加热器，金属压环将晶圆固定在金属HTHU加热器上，机台中通过以下部件保证HTHU加热器绝缘：铁氟龙隔热盘、陶瓷隔热环、陶瓷隔热片以及陶瓷隔热块，其中，铁氟龙隔热盘和陶瓷隔热环位于金属腔体壁和金属HTHU加热器之间，保证加热器和金属腔体壁之间绝缘；陶瓷隔热块位于金属升降环与金属升降模块之间，保证金属升降环与金属升降模块之间绝缘；陶瓷隔热片位于金属升降环与金属螺丝之间，保证金属升降环与金属螺丝之间绝缘，其特征在于，所述陶瓷隔热片的螺丝孔处具有一圈圆柱形凸起，该凸起为中空结构，其中空部分与陶瓷隔热片上部的螺丝孔形成内径一致的贯通孔。