[发明专利]故障检测系统以及故障检测方法有效
申请号: | 201410478109.6 | 申请日: | 2014-09-18 |
公开(公告)号: | CN104465437B | 公开(公告)日: | 2017-07-14 |
发明(设计)人: | 田中雅人 | 申请(专利权)人: | 阿自倍尔株式会社 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66 |
代理公司: | 上海市华诚律师事务所31210 | 代理人: | 肖华 |
地址: | 日本东京都千代田*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种故障检测系统以及故障检测方法,其对以装置控制层次的操作者状态为对象的FD/FP功能进行强化。故障检测系统具有用于根据操作者的操作对设定值SP进行设定变更的设定值操作部(10);基于设定值SP和控制量PV计算出操作量MV并输出的操作量计算部(13);对示出设定值操作部(10)变更设定值SP的变更频率的操作频率信息进行总计并保持的频率信息处理部(20);在从外部接收到重置信号时,将保持在频率信息处理部(20)中的操作频率信息重置为零的重置部(21);以及在操作频率信息的值超过预先规定的阈值时,输出警报的警报输出部(22)。 | ||
搜索关键词: | 故障 检测 系统 以及 方法 | ||
【主权项】:
一种故障检测系统,其特征在于,具有:操作量计算单元,所述操作量计算单元基于设定值SP和控制量PV计算出操作量MV并输出;设定值操作单元,所述设定值操作单元用于根据操作者的操作对所述设定值SP进行设定变更;频率信息处理单元,所述频率信息处理单元对示出利用该设定值操作单元进行的设定值SP的变更的频率的操作频率信息进行总计并保持;重置单元,所述重置单元在从外部接收到重置信号时,将保持在所述频率信息处理单元中的操作频率信息重置为零;警报输出单元,所述警报输出单元在所述操作频率信息的值超过预先规定的阈值时,输出警报;频率信息取得单元,所述频率信息取得单元以预先规定的间隔取得保持在所述频率信息处理单元中的操作频率信息;重置信号发送单元,所述重置信号发送单元在所述操作频率信息的取得后将所述重置信号发送至所述重置单元;频率信息履历存储单元,所述频率信息履历存储单元对由所述频率信息取得单元取得的操作频率信息进行存储;以及判定单元,所述判定单元在最新的操作频率信息的值相对于存储在该频率信息履历存储单元中的过去的任意的操作频率信息的值的增加量超过预先规定的阈值时,输出警报。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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